项目
指标
氩气(Ar)纯度(体积分数)/10-2
≤
99.9999
99.9992
氢(H2)含量(体积分数)/10-6
<
0.1
1
氮(N2)含量(体积分数)/10-6
<
0.5
5
氧(O2)含量(体积分数)/10-6
<
0.2
0.5
一氧化碳(CO)含量和二氧化碳(CO2)总含量(体积分数)/10-6
<
一氧化碳:0.1
0.5
二氧化碳:0.1
总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/10-6
<
0.1
0.5
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6
<
0.2
0.5
杂质总含量含量(体积分数)/10-6
≤
1
8
颗粒
供需双方商定
供需双方商定
注:液态氩的水分应气化后测定